离子铣

拼音lí zi xǐ 注音ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄒㄧˇ 更新2026-07-26 17:45:45
读音信息
拼音字母
li zi xi
拼音首字母
lzx
注音符号
ㄌㄧ ㄗ ㄒㄧ
注音首字母
ㄌㄗㄒ
百科释义

离子铣,也称为离子束刻蚀(IBE),是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。