离子束外延

拼音lí zi shù wài yán 注音ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄕㄨˋ ㄨㄞˋ ㄧㄢˊ 更新2026-07-27 02:25:37
读音信息
拼音字母
li zi shu wai yan
拼音首字母
lzswy
注音符号
ㄌㄧ ㄗ ㄕㄨ ㄨㄞ ㄧㄢ
注音首字母
ㄌㄗㄕㄨㄧ
百科释义

离子束外延是在真空环境中,用含有外延生长所需元素的低能离子束在衬底上生长单晶薄层的工艺。