直流溅射

拼音zhí liú jiàn shè 注音ㄓˊ ㄌㄧㄡˊ ㄐㄧㄢˋ ㄕㄜˋ 更新2026-07-27 07:00:25
读音信息
拼音字母
zhi liu jian she
拼音首字母
zljs
注音符号
ㄓ ㄌㄧㄡ ㄐㄧㄢ ㄕㄜ
注音首字母
ㄓㄌㄐㄕ
百科释义

直流溅射是指利用直流辉光放电产生的离子轰击靶材进行溅射镀膜的技术。直流溅射装置主要由真空室、真空系统和直流溅射电源构成。