对准精度

拼音duì zhǔn jīng dù 注音ㄉㄨㄟˋ ㄓㄨㄣˇ ㄐㄧㄥ ㄉㄨˋ 更新2026-07-26 10:08:39
读音信息
拼音字母
dui zhun jing du
拼音首字母
dzjd
注音符号
ㄉㄨㄟ ㄓㄨㄣ ㄐㄧㄥ ㄉㄨ
注音首字母
ㄉㄓㄐㄉ
百科释义

光刻机的对准系统(alignment)负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准,对准精度(Alignment Precision,AP)则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。